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VOCs废气处理工艺如图3所示，详细每个处理过程如下。

(1)预过滤：废气通过预过滤设备，将其中大颗粒物（粉尘）及油气（印刷飞墨和胶订过程发作的烟气），水汽进行初过滤。

(2)精密过滤设备：废气通过空气过滤器可有用除去废气中的颗粒性粉尘、水汽等，使过滤后的空气粉尘含量降到4mg/m以下。

(3)UV紫外线光束分化：选用归纳高能UV紫外线光束分化废气气体，改动废气的分子链结构，使有机高分子废气化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物。

(4)GS等离子：GS-VOCs设备中的等离子体反响区富含能量极高的物质，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发作反响，使污染物质在极短的时间内发作分化，并发作后续的各种反响以到达降解污染物的意图。

(5)喷淋单元：臭氧可溶于水，在常温常态常压下，臭氧在水中的溶解度比氧高约13倍，比空气高25倍。VOCs污染对于人体来说有着非常严重的影响，可能会危害人们的生命健康安全，所以需要对VOCs加以治理。根据此特性，在UV主机下流方向参加除臭氧喷淋单元，处理冗余臭氧，加快氧化分化。将前端残留的未能分化可溶于水VOCs气体进行处理，增大处理作用。

VOCs在线监测系统概述主要应用领域：VOCs在线监测系统适用于连续在线自动分析监测各种有组织排放烟道气的挥发性有机气体，以及无组织排放的挥发性有机气体，根据分析结果调整达到节约能源及减少环境污染的双重效果。至少每月检查一次燃烧气连接管路的气密性，VOCs在线系统的过滤器、采样管路的结灰情况，若发现数据异常应及时维护。本系统可广泛应用于石化、炼化、化 工、制药、电子半导体、包装印刷、表面涂装、电路板、等各行业。

紫外灯所发出的能量也可以用电子伏特来计量。无自动校准功能的VOCs在线系统至少7d用零气和高浓度标准气（80%～100%的满量程值）校准一次仪器零点和量程。如果某种气体的电离能低于灯发出的能量那么这种气体将被电离。可以被PID检测的zui主要的气体或挥发物是大量的含碳原子的有机化合物（VOCs）。温湿度实时显示；mg/m3、ppm、ppb、pphb等多种单位可选择；在线曲线图显示，可时实时查看数据动；态可修改数据协议，可以对接平台。